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聲表面波溫度光電開關(guān)傳感器是利用聲表面波的傳輸速度與溫度有關(guān)的特性來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這種傳感器的溫度敏感特性取決于壓電晶體的切型及所采用的壓電材料。基于延遲線SAW振蕩器的溫度傳感器可達(dá)到10-6C的分辨率，線性度及滯后特性都比較理想。但敏感元件對(duì)表面質(zhì)量負(fù)載的變化非常敏感，因此必須封閉在密封外殼中。 聲表面波器件的響應(yīng)速度快，由于工作頻率高，這種溫度傳感器還可實(shí)現(xiàn)溫度的遠(yuǎn)程無(wú)線檢測(cè)。 利用聲表面波器件本身的高頻特性及基片的壓電特性，可通過(guò)無(wú)線發(fā)射，接收技術(shù)，實(shí)現(xiàn)敏感器件一身的無(wú)源化。這種傳感器的工作原理有些類似于無(wú)線電技術(shù)中的雷達(dá)。測(cè)量?jī)x器發(fā)射訪問(wèn)脈沖信號(hào)，連接在聲表面波敏感器件上的天線接收訪問(wèn)脈沖信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為器件表面的聲表面波。經(jīng)被測(cè)參數(shù)調(diào)制后的聲表面波再轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)天線發(fā)射出去。檢測(cè)儀器接收到的回波信號(hào)中就包含了被測(cè)對(duì)象的信息。因此，這類傳感器中，敏感元件本身是無(wú)源的，也不需要像一般的無(wú)線IC卡那樣利用天線耦合得到所有需要的電源，是一種真正的無(wú)源無(wú)線傳感器。 無(wú)源無(wú)線聲表面波傳感器的敏感元件同樣有兩種形式，延遲線型及諧振器型，與前面所述的有一對(duì)發(fā)射 接收IDT的延遲線型傳感器不同，無(wú)源無(wú)線的延遲線型聲表面波傳感器一般只有一組與天線宮接在一起的IDT，既作為發(fā)射 IDT，也作為接收IDT。而延遲時(shí)間則是通過(guò)在器件上與IDT間隔一定距離制作聲表面波反射柵的方式實(shí)現(xiàn)的。延遲時(shí)間則通過(guò)提取回波信號(hào)的相位差實(shí)現(xiàn)。 |
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